本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。

　　中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“中微公司”或“公司”）于2024年8月22日召开了第二届董事会第二十五次会议（以下简称“本次会议”）。本次会议的通知于2024年8月14日通过邮件方式送达全体董事。会议应出席董事11人，实际到会董事11人，会议由公司董事长尹志尧先生主持。本次会议的召集和召开程序符合有关法律、行政法规、部门规章、规范性文件和公司章程的规定。会议决议合法、有效。

　　根据《中华人民共和国证券法》《上市公司信息披露管理办法》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《科创板上市公司自律监管指南第3号——日常信息披露》等有关法律、法规、规范的要求，公司编制了《中微半导体设备（上海）股份有限公司2024年半年度报告》及其摘要。

　　（二）审议通过《关于2024年半年度募集资金存放与使用情况专项报告的议案》

　　根据《中华人民共和国公司法》《中华人民共和国证券法》《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》及相关格式指引、《中微半导体设备（上海）股份有限公司募集资金管理制度》的规定，结合本公司的实际情况，公司编制了《中微半导体设备（上海）股份有限公司2024年半年度募集资金存放与使用情况的专项报告》。

　　（三）审议通过《关于作废处理2020年限制性股票激励计划部分限制性股票的议案》

　　根据《上市公司股权激励管理办法》、公司《2020年限制性股票激励计划（草案修订稿）》及《2020年限制性股票、股票增值权激励计划实施考核管理办法》，由于26名首次授予部分激励对象因个人原因已离职，上述激励对象已不具备激励对象资格，作废处理其已获授但尚未归属的限制性股票7.5790万股。本次合计作废处理的限制性股票数量为7.5790万股。

　　（四）审议通过《关于公司2020年限制性股票激励计划首次授予部分第四个归属期符合归属条件的议案》

　　公司2020年限制性股票激励计划第四个归属期规定的归属条件已经成就，本次可归属数量为127.4388万股，同意公司按照激励计划相关规定为符合条件的激励对象办理归属相关事宜。

　　（五）审议通过《关于调整公司2020年股票增值权激励计划行权价格的议案》

　　因公司2023年年度利润分配方案已实施完毕，向全体股东每股派发现金红利0.3元（含税），根据公司2020年股票增值权激励计划的相关规定，2020年股票增值权激励计划的行权价格相由149.8元/股调整为149.5元/股。

　　（六）审议通过《关于公司2020年股票增值权激励计划第四个行权期符合行权条件的议案》

　　公司2020年股票增值权激励计划第四个行权期规定的行权条件已经成就，本次可行权数量为13.67万份，同意公司按照激励计划的相关规定为符合条件的激励对象办理行权相关事宜。

　　现公司根据研发工作实际进展，将2020年度向特定对象发行A股股票募集资金项目“科技储备资金”中“新产品开发项目”的研发方向进一步明确，科技储备资金拟用于新产品的自主研发，研发项目包括集成电路薄膜设备、集成电路检测设备、集成电路刻蚀设备、新型MOCVD设备、大面积平板显示设备和其他集成电路设备等。

　　（八）审议通过《关于公司＜2024年度“提质增效重回报”专项行动方案的半年度评估报告＞的议案》

　　根据法律法规等相关规定，为增强投资者回报、提升投资者获得感，公司于2024年3月编制并披露了《2024年度“提质增效重回报”行动方案》。现公司评估了上述行动方案的半年度执行情况，并形成《2024年度“提质增效重回报”专项行动方案的半年度评估报告》。

　　本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。

　　（2）授予数量：授予的股票增值权总量为54.68万份，约占公司2020年股票增值权激励计划（以下简称“激励计划”）草案公告时公司股本总额53,486.2237万股的0.102%。

　　本激励计划考核年度为2020-2023四个会计年度，每个会计年度考核一次。以2016-2018年度的营业收入均值为基础，根据各考核年度的营业收入累计值定比2016-2018年度营业收入均值的年度累计营业收入增长率，确定各年度的业绩考核目标对应的行权批次及公司层面行权比例。假设每个考核年度的实际营业收入增长率为X，各年度业绩考核目标安排如下表所示：

　　注：上述“营业收入”以经公司聘请的会计师事务所审计的合并报表所载数据为计算依据，公司2016-2018年度营业收入均值为10.74亿元。

　　激励对象的个人层面绩效考核按照公司现行目标管理（MBO）规定组织实施，并依照激励对象的考核结果确定其实际行权的股份数量。激励对象的绩效考核结果划分为五个档次，届时根据以下考核评级表中对应的个人层面行权比例确定激励对象的实际行权的股份数量：

　　激励对象当年实际行权的股票增值权数量=个人当年计划行权的数量×公司层面行权比例×个人层面行权比例。

　　（1）2020年3月18日，公司召开第一届董事会第八次会议，会议审议通过了《关于公司＜2020年股票增值权激励计划（草案）＞及其摘要的议案》、《关于公司＜2020年限制性股票、股票增值权激励计划实施考核管理办法＞的议案》以及《关于提请股东大会授权董事会办理股权激励相关事宜的议案》等议案。公司独立董事就激励计划相关议案发表了独立意见。

　　同日，公司召开第一届监事会第五次会议，审议通过了《关于公司＜2020年股票增值权激励计划（草案）＞及其摘要的议案》、《关于公司＜2020年限制性股票、股票增值权激励计划实施考核管理办法＞的议案》等议案，公司监事会对激励计划的相关事项进行核实并出具了相关核查意见。

　　（2）2020年4月21日，公司召开2020年第一次临时股东大会，审议并通过了《关于公司＜2020年股票增值权激励计划（草案）＞及其摘要的议案》、《关于公司＜2020年限制性股票、股票增值权激励计划实施考核管理办法＞的议案》、《关于提请股东大会授权董事会办理股权激励相关事宜的议案》。

　　（3）2020年4月22日，公司于上海证券交易所网站（）披露《关于公司2020年限制性股票、股票增值权激励计划内幕信息知情人买卖公司股票情况的自查报告》（公告编号：2020-023）。

　　（4）2020年6月5日，公司召开第一届董事会第十二次会议，审议通过了《关于公司＜2020年股票增值权激励计划（草案修订稿）＞及其摘要的议案》等议案。公司独立董事就本激励计划相关议案发表了独立意见。

　　同日，公司召开第一届监事会第八次会议，审议通过了《关于公司＜2020年股票增值权激励计划（草案修订稿）＞及其摘要的议案》等议案，公司监事会对本激励计划的相关事项进行核实并出具了相关核查意见。

　　（5）2020年6月22日，公司召开2020年第二次临时股东大会，审议并通过了《关于公司＜2020年股票增值权激励计划（草案修订稿）＞及其摘要的议案》等议案。

　　（6）2020年6月30日，公司召开第一届董事会第十三次会议与第一届监事会第九次会议，审议通过了《关于向激励对象授予股票增值权的议案》。公司独立董事对该事项发表了独立意见，监事会对前述事项进行核实并发表了核查意见。

　　（7）2021年7月9日，公司召开第一届董事会第二十一次会议、第一届监事会第十五次会议，审议通过了《关于公司2020年股票增值权激励计划第一个行权期符合行权条件的议案》。公司独立董事对相关事项发表了独立意见。

　　（8）2023年4月13日，公司召开第二届董事会第十三次会议和第二届监事会第十一次会议，审议通过了《关于公司2020年股票增值权激励计划第二个行权期符合行权条件的议案》。公司独立董事对相关事项发表了独立意见。

　　（9）2023年8月24日，公司召开第二届董事会第十六次会议、第二届监事会第十四次会议，审议通过了《关于公司2020年股票增值权激励计划第三个行权期符合行权条件的议案》。公司独立董事对相关事项发表了独立意见。

　　（10）2023年10月26日，公司召开第二届董事会第十七次会议、第二届监事会第十五次会议，审议通过了《关于调整公司2020年股票增值权激励计划行权价格的议案》。公司独立董事对相关事项发表了独立意见。

　　（11）2024年8月22日，公司召开第二届董事会第二十五次会议、第二届监事会第二十二次会议，审议通过了《关于调整公司2020年股票增值权激励计划行权价格的议案》《关于公司2020年股票增值权激励计划第四个行权期符合行权条件的议案》。

　　2024年8月22日，公司召开第二届董事会第二十五次会议审议《关于公司2020年股票增值权激励计划第四个行权期符合行权条件的议案》。根据公司2020年第一次临时股东大会对董事会的授权，董事会认为：公司2020年股票增值权激励计划第四个行权期规定的行权条件已经成就，本次可行权数量为13.67万份，同意公司按照激励计划的相关规定为符合条件的激励对象办理行权相关事宜。

　　董事会表决情况：同意10票，反对0票，弃权0票。董事尹志尧为本次股票增值权激励计划的激励对象，在本议案中回避表决。

　　根据《2020年股票增值权激励计划（草案修订稿）》的相关规定，授予的股票期权的第四个行权期为“自授予完成之日起48个月后的首个交易日起至授予完成之日起60个月内的最后一个交易日当日止”。本次激励计划授予日为2020年6月30日，因此股票增值权的第四个行权期为2024年7月1日至2025年6月30日。

　　根据公司2020年第一次临时股东大会的授权，根据公司《2020年股票增值权激励计划（草案修订稿）》和《2020年限制性股票、股票增值权激励计划实施考核管理办法》的相关规定，激励计划授予的股票增值权第四个行权期的行权条件已成就，现就行权条件成就情况说明如下：

　　监事会认为：公司2020年股票增值权激励计划中，6名激励对象获授的54.68万份股票增值权第四个行权期的行权条件已经成就，本事项符合《上市公司股权激励管理办法》、《2020年股票增值权激励计划（草案修订稿）》等相关规定。

　　根据公司自查参与本激励计划的高级管理人员尹志尧、倪图强、陈伟文在行权日前6个月存在买卖公司股票的行为，详见公司相关公告。

　　根据《企业会计准则第11号——股份支付》和《企业会计准则第22号——金融工具确认和计量》，公司将在等待期的每个资产负债表日，根据最新取得的可行权人数变动、业绩指标完成情况等后续信息，修正预计可行权的股票增值权数量，并按照公司承担负债的公允价值金额，将当期取得的服务计入相关成本或费用和资本公积。具体费用以会计师事务所出具的年度审计报告为准，本次股票增值权行权不会对公司财务状况和经营成果产生重大影响。

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　　1、公司就本次实施已取得必要的批准和授权，符合《公司法》《证券法》《管理办法》等相关法律法规以及《限制性股票激励计划》《股票增值权激励计划》的规定；

　　2、公司限制性股票激励计划首次授予部分的限制性股票已进入第四个归属期，第四个归属期的归属条件已成就，公司实施本次归属符合《公司法》《证券法》《管理办法》及《限制性股票激励计划》的相关规定；

　　3、本次作废理限制性股票激励计划部分限制性股票的原因及作废数量符合《公司法》《证券法》《管理办法》及《限制性股票激励计划》的规定；

　　4、公司本次股票增值权激励计划行权价格调整符合《管理办法》《股票增值权激励计划》的相关规定；

　　5、公司股票增值权已进入第四个行权期，第四个行权期的行权条件已成就，公司实施本次行权符合《公司法》《证券法》《管理办法》及《股票增值权激励计划》的相关规定。

　　本公司及董事会全体成员保证信息披露的内容真实、准确、完整，没有虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏。

　　中微半导体设备（上海）股份有限公司（下称“中微公司”或“公司”）于2024年8月22日召开第二届董事会第二十五次会议和第二届监事会第二十二次会议，审议通过了《关于调整公司2020年股票增值权激励计划行权价格的议案》，现将有关事项说明如下：

　　1、2020年3月18日，公司召开第一届董事会第八次会议，会议审议通过了《关于公司＜2020年股票增值权激励计划（草案）＞及其摘要的议案》、《关于公司＜2020年限制性股票、股票增值权激励计划实施考核管理办法＞的议案》以及《关于提请股东大会授权董事会办理股权激励相关事宜的议案》等议案。公司独立董事就激励计划相关议案发表了独立意见。

　　同日，公司召开第一届监事会第五次会议，审议通过了《关于公司＜2020年股票增值权激励计划（草案）＞及其摘要的议案》、《关于公司＜2020年限制性股票、股票增值权激励计划实施考核管理办法＞的议案》等议案，公司监事会对激励计划的相关事项进行核实并出具了相关核查意见。

　　2、2020年4月21日，公司召开2020年第一次临时股东大会，审议并通过了《关于公司＜2020年股票增值权激励计划（草案）＞及其摘要的议案》、《关于公司＜2020年限制性股票、股票增值权激励计划实施考核管理办法＞的议案》、《关于提请股东大会授权董事会办理股权激励相关事宜的议案》。

　　3、2020年4月22日，公司于上海证券交易所网站（）披露《关于公司2020年限制性股票、股票增值权激励计划内幕信息知情人买卖公司股票情况的自查报告》（公告编号：2020-023）。

　　4、2020年6月5日，公司召开第一届董事会第十二次会议，审议通过了《关于公司＜2020年股票增值权激励计划（草案修订稿）＞及其摘要的议案》等议案。公司独立董事就本激励计划相关议案发表了独立意见。

　　同日，公司召开第一届监事会第八次会议，审议通过了《关于公司＜2020年股票增值权激励计划（草案修订稿）＞及其摘要的议案》等议案，公司监事会对本激励计划的相关事项进行核实并出具了相关核查意见。

　　5、2020年6月22日，公司召开2020年第二次临时股东大会，审议并通过了《关于公司＜2020年股票增值权激励计划（草案修订稿）＞及其摘要的议案》等议案。

　　6、2020年6月30日，公司召开第一届董事会第十三次会议与第一届监事会第九次会议，审议通过了《关于向激励对象授予股票增值权的议案》。公司独立董事对该事项发表了独立意见，监事会对前述事项进行核实并发表了核查意见。

　　7、2021年7月9日，公司召开第一届董事会第二十一次会议、第一届监事会第十五次会议，审议通过了《关于公司2020年股票增值权激励计划第一个行权期符合行权条件的议案》。公司独立董事对相关事项发表了独立意见。

　　8、2023年4月13日，公司召开第二届董事会第十三次会议和第二届监事会第十一次会议，审议通过了《关于公司2020年股票增值权激励计划第二个行权期符合行权条件的议案》。公司独立董事对相关事项发表了独立意见。

　　9、2023年8月24日，公司召开第二届董事会第十六次会议、第二届监事会第十四次会议，审议通过了《关于公司2020年股票增值权激励计划第三个行权期符合行权条件的议案》。公司独立董事对相关事项发表了独立意见。

　　10、2023年10月26日，公司召开第二届董事会第十七次会议、第二届监事会第十五次会议，审议通过了《关于调整公司2020年股票增值权激励计划行权价格的议案》。公司独立董事对相关事项发表了独立意见。

　　11、2024年8月22日，公司召开第二届董事会第二十五次会议、第二届监事会第二十二次会议，审议通过了《关于调整公司2020年股票增值权激励计划行权价格的议案》《关于公司2020年股票增值权激励计划第四个行权期符合行权条件的议案》。

　　公司2023年度股东大会审议通过了《关于公司2023年年度利润分配预案的议案》，利润分配方案为每10股派发现金红利3.00元(含税)。2024年5月27日，公司披露了《2023年年度权益分派实施公告》。

　　鉴于上述利润分配方案已实施完毕，根据《上市公司股权激励管理办法》（以下简称“《管理办法》”）以及公司《2020年股票增值权激励计划（草案修订稿）》的相关规定，应对本次股票增值权激励计划行权价格进行相应的调整。

　　根据公司2020年股票增值权激励计划的相关规定，2020年股票增值权激励计划的行权价格调整方法如下:

　　其中:P0为调整前的行权价格；V为每股的派息额；P为调整后的行权价格。经派息调整后，P仍须大于1。

　　根据以上公式，2020年股票增值权激励计划调整后的行权价格=149.8-0.3=149.5元/股。

　　公司调整2020年股票增值权激励计划的行权价格不会对公司的财务状况和经营成果产生实质性影响，不会影响公司核心团队的稳定性，不会影响公司股权激励计划继续实施。

　　公司监事会认为：因公司2023年年度利润分配方案实施完毕，公司本次对2020年股票增值权激励计划行权价格的调整符合《上市公司股权激励管理办法》等相关法律、法规、规章及公司《2020年股票增值权激励计划（草案修订稿）》的规定和要求，不存在损害公司及全体股东利益的情形。因此，监事会同意本次股票增值权行权价格调整事项。

　　1、公司就本次实施已取得必要的批准和授权，符合《公司法》《证券法》《管理办法》等相关法律法规以及《限制性股票激励计划》《股票增值权激励计划》的规定；

　　2、公司限制性股票激励计划首次授予部分的限制性股票已进入第四个归属期，第四个归属期的归属条件已成就，公司实施本次归属符合《公司法》《证券法》《管理办法》及《限制性股票激励计划》的相关规定；

　　3、本次作废理限制性股票激励计划部分限制性股票的原因及作废数量符合《公司法》《证券法》《管理办法》及《限制性股票激励计划》的规定；

　　4、公司本次股票增值权激励计划行权价格调整符合《管理办法》《股票增值权激励计划》的相关规定；

　　5、公司股票增值权已进入第四个行权期，第四个行权期的行权条件已成就，公司实施本次行权符合《公司法》《证券法》《管理办法》及《股票增值权激励计划》的相关规定。

　　1.1本半年度报告摘要来自半年度报告全文，为全面了解本公司的经营成果、财务状况及未来发展规划，投资者应当到网站仔细阅读半年度报告全文。

　　公司已在报告中详细描述可能存在的相关风险，敬请查阅第三节管理层讨论与分析“五、风险因素”部分内容。

　　1.3本公司董事会、监事会及董事、监事、高级管理人员保证半年度报告内容的真实性、准确性、完整性，不存在虚假记载、误导性陈述或重大遗漏，并承担个别和连带的法律责任。

　　公司应当根据重要性原则，说明报告期内公司经营情况的重大变化，以及报告期内发生的对公司经营情况有重大影响和预计未来会有重大影响的事项