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根据MaximizeMarketResearch数据,全球薄膜沉积设备市场规模预计由2017年的125亿美元增长至2025年的340亿美元。未来,逻辑芯片制程升级、存储芯片堆叠层数提升、新工艺的应用,使得薄膜沉积设备在产线中的占比及价值量逐步提升,全球薄膜沉积设备市场规模将保持稳定增长态势。
先进制程使得晶圆制造的复杂度和工序量大幅提升,当线nm及以下制程发展,需要采用多重曝光工艺,薄膜沉积次数明显增加。在90nmCMOS芯片工艺中,大约需要40道薄膜沉积工序。在3nmFinFET工艺产线道薄膜沉积工序,涉及的薄膜材料由6种增加到近20种,对于薄膜颗粒的要求也由微米级提高到纳米级,进而拉动晶圆厂对薄膜沉积设备需求量的增加。
o半导体是指介于导体与绝缘体之间的物理材料,其广泛应用于计算机、通信、消费电子、汽车、工业/医疗、军事/政府等核心领域。根据世界半导体贸易统计组织(WSTS)的分类标准,半导体主要由四个组成部分组成:集成电路(约占84.33%),光电器件(约占6.87%),分立器件(约占5.28%),传感器(约占3.52%)。其中,集成电路按照产品种类又可分为四大类:微处理器(约占13.42%),存储器(约占26.30%),逻辑器件(约占30.55%),模拟器件(约占14.27%)。
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