金融界2024年9月30日消息,国家知识产权局信息显示,盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司取得一项名为“一种半导体干法刻蚀设备腔体水汽含量报警系统”的专利,授权公告号CN 112599400 B,申请日期为2020年12月。
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