根据IDC预测，2024E半导体市场规模由6259亿美元上调至6328亿美元半导体设备行业动态研究，同比增长202%，全球半导体市场正在逐步回暖，2024年起有望加速恢复增长。

　　2、根据SEAJ数据，2023Q3中国大陆半导体设备销售额同比增长422%，随着中国大陆成熟制程持续建半导体零部件国产化加速设，半导体设备市场有望长期稳健增长。

　　4、半导体零部件市场规模约为设备半导体设备行业动态研究市场规模的50%-55%，我们测算，2022年中国大陆半导体设备零部件市场规模约为1061亿元。

　　5、半导体零部件种类繁多，行业碎片化特征显著，目前国产化率普遍较低，晶圆扩半导体零部件国产化加速产叠加设备国产化加速，半导体零部件国产替代空间广阔。

　　6、正帆科技：Gasbox关注细分赛道领跑者是半导体干法设备中极为重要的通用子系统，我们测算，2022年中国大陆Gasbox市场规模超过50亿元。

　　7、2022年公司布局Gasbox业务，2023年产品已经全面稳产，目前已向北方华创、拓荆科半导体设备行业动态研究技、中微公司、晶盛机电等国内头部半导体设备商，以及迈为股份等光伏电池片设备商批量供货，有望优先受益于Gasbox国产替代加速。

　　8、汉钟精机：干式真空泵可用于单晶拉晶、Load-lock、刻蚀、CVD、ALD、封装、测试等清洁或严苛制程，我们测算，目前中国大陆半导体真空泵存量替换市场规模超过18亿元，未来五年中国大陆仅12英寸扩产贡献线半导体零部件国产化加速5亿元。

　　9、目前公司真空泵在清洁、中度严苛、严关注细分赛道领跑者苛制程均有应用，公司与国内部分机台商、晶圆厂已有合作，目前有一定的小批量出货。

　　10、随着台中厂三期及上海厂三期产能半导体设备行业动态研究建设顺利完成，真空泵成长空间有望进一步打开。

　　11、英杰电气：射频电源可用于刻蚀、薄膜沉积和离子注入等半导体设备，我们测算，2022年中国大陆半导体射频电源市场规模约为44半导体零部件国产化加速亿元。

　　12、2023年10月起，公司射频电源订单呈现批关注细分赛道领跑者量上升状态，目前已超9000万元。

　　13、公司和中微公司已经合作多年，同时和业内其他知名企业也有合作，随着产品验证及客户拓展持续加速，半导体电半导体设备行业动态研究证券研究报告2源业务有望步入快速成长期。

　　14、美埃科技：洁净室是半导体制造业的重要环节，直接决定产品良率，先进制程持续发展将对半导体零部件国产化加速洁净度提出更高要求。

　　15、风机过滤单元业务，公司产品性能领先、客户基础牢固，目前在国内半导体洁净室领域市占率约30%、位居行业第一，受益高管全球化背景、制造基地海内外协同布局，2020-2022年海关注细分赛道领跑者外收入CAGR接近50%。

　　16、过滤器业务，具备收入稳定、高毛利率双重优势，国内方面，公司通过持续降本、节半导体设备行业动态研究能改造等方式增加客户黏性，进而提升耗材复购率；海外方面，受益产品性价比、售后服务质量等优势，海外客户认证持续加速，耗材业务有望开启广阔增长空间。

　　17、投资建议半导体设备零部件国产替代空间广阔，细分赛道领先企业有望优先受益，重点关注正帆科技（gasbox）、汉钟精机（真空泵）、英杰电气（射频电源）、美埃科技（洁净装备及半导体零部件国产化加速耗材）等，首次覆盖，给予“推荐”评级。

　　18、风险提示半导体市场需求恢复不及预期；半导体行业资本开支不及预期；半导体设备及零部件国产化不及预期；国外对华半导体设备限制力度变化风险；关注标的产品研发及客户关注细分赛道领跑者验证进度不及预期；重点关注公司业绩不达预期风险。

　　20、376SH美埃科技3127962006买入资料来源：Wind资讯，国海证券研究所未评级公司盈利预测取自wind一致预期证券研究报告4内容目录1、半导体行业逐步回暖，中国大陆设备需求旺盛62、零部件国产替代半导体零部件国产化加速空间广阔，关注细分赛道领跑者721、正帆科技：Gasbox822、汉钟精机：线、美埃科技：洁净装备及耗材133、风险提示16证。

　　21、券研究关注细分赛道领跑者报告5图表目录图1：全球半导体月度销售额6图2：半导体行业资本开支增速与市场规模增速6图3：全球半导体行业资本开支（十亿美元）6图4：全球半导体设备销售额7图5：中国大陆半导体设备销售额7图6：2020年中国晶圆厂设备采购额(亿美元)7图7：2023E中国晶圆厂设备采购额(亿美元)7图8：薄膜沉积设备部件系统8图9：Gasbox产品9图10：中微公司直接材料成本结构（2018年）9图11：拓。

　　22、荆科技直接材料成本结构（2020年）9图12：正帆科技业务结构10图13：汉钟精机半导体线图16：IC制造工艺与洁净室14图17：2015-2024E中国洁净室净化设备市场规模14图18：2014-2025E中国空气过滤器市场规模14图19：2019年中国洁净室工程行业下游需求占比半导体设备行业动态研究15图20：美埃科技主要产品15证券研究报告61、半导。

　　23、体行业逐步回暖，中国大陆设备需求旺盛半导体市场正逐步回暖，2024半导体零部件国产化加速年行业资本开支有望上行。

　　24、根据SIA数据，2023年10月全球半导体行业销售额为466亿美关注细分赛道领跑者元，同比下降068%，连续6个月实现同比降幅收窄，连续8个月环比实现环比增长。

　　25、根据IDC预测，2023年全球半导体预计市场规模由5188亿美元上调至5265亿美元，202半导体设备行业动态研究4E市场规模由6259亿美元上调至6328亿美元，同比增长202%，全球半导体市场正在逐步回暖，2024年起有望加速恢复增长。

　　26、历史数据表明，半导体行业资本半导体零部件国产化加速开支增速与半导体市场规模增速显著正相关。

　　27、根据ICInsight数据，2023年全球半导体行业资本开支预计为1560亿美元，同比下降关注细分赛道领跑者14%，我们预计，随着半导体行业需求回暖，2024年全球半导体行业资本开支有望步入上行周期。

　　28、图1：全球半导体月度销售额图2：半导体行业资本开支增速与市场规模增速资料来源：美国半导体行业协会，国海证券研究所资料来源：ICInsight图3：全球半导体行业资本开支（十亿美元）资料来源：ICInsig半导体设备行业动态研究ht，IDC，国海证券研究所注：德州仪器、其他企业为ICInsight预测数据证券研究报告7成熟制程持续建设，中国大陆半导体设备需求旺盛。

　　29、根据Gartner数据，IC制半导体零部件国产化加速造中的设备投资额约占资本支出的70%-80%。

　　30、根据SEAJ数据，2023Q1-Q3全球半导体设备销售额为7821亿美元，同比下降21%，2023Q3同比下降11%；2023Q1-Q3中国大陆半导体设备销售额为2447亿关注细分赛道领跑者美元，同比增长117%，2023Q3同比增长422%。

　　31、先进制程设备进口受限背景下，中国大陆加强成熟制程产能投资，以中芯国际为例，中芯国际三季报将2023全年资本开支上调至75亿半导体设备行业动态研究美元左右，同比增长约18%。

　　32、20半导体零部件国产化加速22年中国大陆12英寸晶圆产能全球占比22%，2026年预计增至25%，行业需求回暖叠加产能建设加速，中国大陆半导体设备市场长期有望稳健增长。

　　33、图4：全球半导体设备销售额图5：中国大陆半导体设备销售额资料来源：wind，国海证券研究所资料来源：wind，国海证券研究所2、零部件国产替代空间广阔，关注细分赛道领跑者半导体设备国产替代空间关注细分赛道领跑者广阔。

　　34、以晶圆制造设备为例，根据芯谋研究公众号，2023年中国晶圆厂设备采购总额将达299亿美元，美国、日本半导体设备行业动态研究、荷兰、中国设备商对应市场份额分别为43%、21%、19%和11%，相比2020年，本土设备商的销售额增长约233%，市占率增长约4pct，然而国际巨头依旧主导中国设备市场，半导体设备国产替代空间广阔。

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　　35、图6：2020年中国晶圆厂设备采购额(亿美元)图7：国海证券2023E中国晶圆厂设备采购额(亿美元)资料来源：芯谋研究公众号，国海证券研究所资料来源：芯谋研究公众号，国海证券研究所证券研究报告82022年中国大陆半导体设备零部件市场规模约为1061亿元。

　　36、根据富创精密招股说明书，半导体设备成本结构中通常90%以上为原材料（即各类零部件），考虑国际半导体设备公司毛利率通常在40%-45%左右，全部零部件市场规模约为半导体设备市场规模的50%-55%，根据SEA半导体设备行业动态研究J数据，2022年中国大陆半导体设备销售额为2827亿美元，我们测算，同年中国大陆半导体设备零部件市场规模约为1061亿元（美元兑换人民币汇率按715）。

　　37、半导体零部件种类繁多，目前业内多数企业仅专注于特定生产工艺或国海证券特定零部件产品，行业碎片化特征显著。

　　38、国际半导体设备巨头对零部件企业实行体系化认证管理，全部认证过程通常持续2-3年，半导体设备行业动态研究供应链粘性较强。

　　39、目前半导体零部件国产化率普遍较低，以晶圆制造设备为例，2020年中国大陆晶圆厂商采购的8-12寸晶圆国海证券设备零部件主要包括石英、射频电源、真空泵、阀门、吸盘、反应腔喷淋头、边缘环等零部件，采购金额占比分别为11%、10%、10%、9%、9%、8%、6%，仅石英成品、反应腔喷淋头、边缘环等少数几类零部件国产化率超过10%。

　　40、中国大陆晶圆半导体设备行业动态研究厂持续扩产叠加半导体设备国产化加速，半导体零部件国产化率有望持续提升。

　　41、重点关注正帆科技（Gasbox）、汉钟精机（真空泵）、英杰电气（射频电源）、国海证券美埃科技（洁净装备及耗材），首次覆盖，给予“推荐”评级。

　　42、图8：薄膜沉积设备部件系统资料来源：《MKS半导体设备行业动态研究InstrumentsHandbook2ndEdition》，MKS官网21、正帆科技：Gasbox半导体干法设备关键子系统，Gasbox行业壁垒较高。

　　43、半导体工艺设备内部的气路系统主要由Gasbox、气路和阀门构成，其中Gasbox是半导体干法设备中极为重要的通用子系统，主要功能是将各路工艺气体集成在一个空间环境内，并按工艺需求对不同气体进行转换、分配和混合，对个别关键工艺气体进行精确的国海证券流量控制，根据工艺步骤的设定实现对工艺气体开关控制灯功能，主要组件包括手动/气动截止阀、逆止阀、质量流量控制器、压力调节控制器、高精密过滤器、证券研究报告9垫片、。

　　44、镀银螺帽/螺丝等，具有极高的安全气密性、耐蚀性、小型化和控制精度要求，技术门槛及行业半导体设备行业动态研究壁垒较高。

　　45、图9：Gasbox产品资料来源：正帆科技公司公告2022年中国大陆Gasbox市场规模超过50亿元，国产化率不足国海证券10%。

　　46、根据富创精密招股书，气体输送系统/模组主要用于刻蚀设备、薄膜沉积设备和离半导体设备行业动态研究子注入设备。

　　47、刻蚀设备方面，根据中微公司招股说明书，2018年直接材料成本占比约95%，其中气体输送系统占当期原材料采购金额约174%，即气体输送系统在设备成本中约占165%，国海证券假设刻蚀设备毛利率为45%，则气体输送系统价值量约占刻蚀设备价值量的91%。

　　48、薄膜沉积设备方面，根据拓荆科技招股说明书，2020年直接材料成本占比约90%，其中气体输送系统占当期原材料采购金额约75%，即气体输送系统在设备成本中约占68半导体设备行业动态研究%，假设薄膜沉积设备毛利率为45%，则气体输送系统价值量约占薄膜沉积设备价值量的37%。

　　49、2022年中国大陆2827亿美元，刻蚀设备、薄膜沉积设备国海证券大约各占20%，我们测算，2022年中国大陆Gasbox市场规模超过50亿元（美元兑换人民币汇率按715）。

　　50、目前Gasbox国产化率不足10%，超科林、富士金等国外供应商在国内市场占据主导地半导体设备行业动态研究位，中国大陆基本只有正帆科技（子公司鸿舸半导体）和富创精密具备供应能力。

　　51、图10：中微公司直接材料成本结构（2018年）图11：拓荆科技直接材料成本结构（2020年）资料来源：中微公司招股说明书，国海国海证券证券研究所资料来源：拓荆科技招股说明书，国海证券研究所证券研究报告10正帆科技是国内领先的工艺介质系统供应商，面向泛半导体、生物医药等高科技产业提供关键系统、核心材料和专业服务。

　　52、（1）高纯介质供应系统：是公司传统主业，东横化学、帆宣科技、法液空等海外供应商在IC、显示等领域仍占据主要份额，据正帆科技半导体设备行业动态研究2023中报，高纯介质供应系统目前国产化率约30%，正帆科技和至纯科技是本土主流供应商，受益半导体、光伏等行业扩产需求及CAPEX国产替代加速，高纯介质供应系统业绩有望持续稳健增长。

　　53、（2）Gasbox：2022年公司投资设立鸿舸半导体（目前持股60%）布国海证券局Gasbox业务，根据公司2023年9月30日投资者交流纪要，2023年Gasbox产品已经全面稳产，全年收入和新签合同增速预计均会超过公司业绩平均增速，目前已向北方华创、拓荆科技、中微公司、晶盛机电等国内头部半导体设备商，以及迈为股份等光伏电池片设备商批量供货，有望优先受益于Gasbox国产替代加速。

　　54、（3）气体业务：是公司拓展OPEX业务的支柱战略，也是公司近年主要的产品开发和投资方向，主要围绕电子特气、工业气和先进材料三个方向，铜陵电子特气项目、潍坊大宗气项目以及合肥高纯氢气项目将于2023H2逐步投半导体设备行业动态研究产，此外，铜陵电子材料生产基地即将投产的先进材料主要是前驱体（半导体薄膜沉积/外延/刻蚀等工艺所需关键材料），公司将覆盖20余种前驱体，涉及硅基、金属基、High-K和Low-K四大品类，目前正。

　　55、在客户导入阶段，预计2024年逐步量产，根据QYResearch，2022年国内前驱体市场规模约国海证券为62亿元（美元兑换人民币汇率按715），国产化率不足5%，随着公司产能建设顺利推进，随着公司产能建设及客户拓展持续推进，气体业务有望成为新的增长点。

　　56、图12：正帆科技业务结构资料来源：正帆科技公司公告，wind，国海证券研究所22、汉钟精机：线干式真空泵是半导体设备中的关键零部件，可用于单晶拉晶、Load-lock、刻蚀、CVD、ALD、封装、测试等清洁或严苛制程，半导体应用将对干式真空泵的耐腐蚀性、抽速、能耗、可靠性、稳定性、一半导体设备行业动态研究致性等指标提出严格要求。

　　57、Edwards、Ebara、Kashiyama等国外企业占国海证券据半导体线%市场份额，汉钟精机、中科仪是本土主流供应商。

　　58、（1）存量替换：根据半导体产业纵横公众号（2023年11月26日），目前中国大陆12英寸晶圆产能约1139万片/月（含在建15座），8英寸晶圆产能约1041万片/月（含在建8座）、折合12英寸产能约4半导体设备行业动态研究63万片/月，根据中科仪招股说明书，对于12英寸晶圆产线台真空泵，假设存量线万元/台，我们测算，目前中国大陆半导体真空泵存量替换市场规模。

　　60、（2）增量采购：根据全球半导体观察公众半导体设备行业动态研究号（2023年11月11日），未来五年中国大陆将新增24座12英寸晶圆厂，规划产能2223万片/月，我们测算，未来五年中国大陆仅12英寸扩产贡献线国海证券：汉钟精机半导体真空泵资料来源：汉钟精机公司公告，国海证券研究所公司是国内螺杆式制冷压缩机领跑者，目前主营业务分为压缩机（组）和真空泵两大板块，其中压缩机（组）又分为制冷和空压两大产品。

　　62、（1）制冷产品：主要包括商用中央空调用压缩机、冷冻冷藏压缩机、热泵压缩机，其中，中央空调部分占比最高，市场相对平稳；冷冻冷藏部分受益于冷链及预制菜等行业发展，成长相半导体设备行业动态研究对较快；热泵部分煤改电市场空间大，替代空间广阔。

　　63、（2）空压产品：主要用于工程机械等气源动力行业，业务发展与制造业景气度息息相关，在传统有油空压机市场外，公司开始着重发力涡旋、螺杆、离心式无油空压机等高端国海证券应用市场，无油压缩机产品附加值更高，是公司空压产品的重要发展方向。

　　64、（3）真空泵产品：目前主要用于光伏和半导体行业，光伏领域，公司真空泵主要用于拉晶和电池片环节，拉晶环节占比较多，目前已和半导体设备行业动态研究国内光伏头部企业及重要设备商（隆基绿能、通威股份、中环股份、晶盛机电、捷佳伟创等）建立长期证券研究报告12合作关系，公司2020H2开始批量进入电池片环节，目前市占率相对较低，产品主要用于PERC，TOPCon真空泵的出货量有所增加，HJT真空泵目前处于客户测试阶段。

　　半导体领域，目前公司半导体真空泵在清洁、中度严苛、严苛制程都有推广使用，目前多用于相对洁净制国海证券程，公司与国内部分机台商、晶圆厂已有合作，目前有一定的小批量出货。

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