金融界2025年1月18日消息，国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司取得一项名为“半导体工艺腔室及半导体工艺设备”的专利，授权公告号CN 222349118 U，申请日期为2024年1月。

　　专利摘要显示，本申请公开了一种半导体工艺腔室及半导体工艺设备，属于半导体技术领域。半导体工艺腔室包括腔室本体、旋转板和多个加热元件，旋转板可转动地设置于腔室本体内，腔室本体内设有用于承载晶片的基座，基座与旋转板相对，多个加热元件间隔设置于旋转板，以加热晶片。半导体工艺设备包括上述的半导体工艺腔室，半导体工艺腔室为半导体去气腔室。如此，依靠旋转板的转动过程，加热元件能够加热晶片的不同区域，提升晶片表面温度的均匀性，从而提升加热效率和加热效果。

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　　天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币，实缴资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了8家企业，参与招投标项目992次，知识产权方面有商标信息31条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可339个。

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