证券之星消息,根据天眼查APP数据显示拓荆科技(688072)新获得一项发明专利授权,专利名为“半导体处理设备及方法”,专利申请号为CN8.6,授权日为2025年2月21日。
专利摘要:本申请涉及一种半导体处理设备及方法。在本申请的一实施例中,所述半导体处理设备包括:晶圆承载盘体,其中设置有下电极,所述下电极耦接到直流电源;及上电极,其与所述晶圆承载盘体相对设置,所述上电极经由匹配电路耦接到射频发生器,且经由低通滤波器接地。
今年以来拓荆科技新获得专利授权6个,较去年同期增加了200%。结合公司2024年中报财务数据,2024上半年公司在研发方面投入了3.14亿元,同比增49.61%。
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