2025年2月21日，半导体设备材料ETF(159516.SZ)收涨2.38%，成交4.34亿元。净流入2.09亿元（净申购份额*单位净值），居可比基金第一。

　　拉长时间看，该基金连续2天资金净流入，合计吸金2.71亿元，居可比基金第一。

　　资金流入也助力了份额的提升，该基金最新份额较前一日增加1.87亿份，突破20.00亿份，居可比基金首位。与此同时，该基金最新规模突破23.00亿元，居可比基金首位。

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