在半导体产业的核心版图中，设备制造是筑牢芯片制程的基石，其具有技术壁垒高、研发周期长、客户验证壁垒高等特点。一条先进的半导体生产线多台涵盖图形化、加工和检测等功能的设备，每类设备都形成独立的技术护城河，构建起复杂的产业生态。

　　自2020年美国开始对我国限制芯片行业的出口，倒逼中国加速重构半导体供应链，半导体设备领域成为攻坚核心之一。

　　据分析机构TechInsights的数据显示，2024年我国采购了价值410亿美元的设备，占全球销售额的40%。连续三年成为全球最大的晶圆设备采购国，但国产设备渗透率仅11.3%。这组数据背后，是中国半导体产业的双重现实：一方面是全球产业链对“中国需求”的深度依赖，另一方面是核心装备“卡脖子”的严峻挑战。

　　近几年，在国产替代的“东风”下，国内也涌现了一批优秀的半导体设备制造商，并取得了长足的发展，这可以从他们近期发布的2025年Q1财报数据看出。在12家科创板半导体设备厂商中，有11家实现了营收增长，其中9家年增长率超过了25%。

　　作为国内半导体设备龙头企业，北方华创拥有最广泛的产品组合，涵盖沉积设备、干法刻蚀设备以及热处理和清洗设备等。2025年第一季度，北方华创收入达82.1亿元，同比增长38%。收入大增的主要原因是因为电容耦合等离子体刻蚀设备(CCP)等多款新产品实现技术突破，工艺覆盖范围扩大，成熟产品市场占有率稳步提升。同时，研发费用达到10.26亿元，同比增加40.89%，占营收比例为12.5%。

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　　中微公司是国内刻蚀设备的龙头。2025年第一季度，其营业收入达到了21.73亿元，同比增长35.40%。这一增长主要得益于其在高端产品方面的突破。研发投入合计6.87亿元，同比增长90.53%，研发投入占营业收入比例为31.60%。

　　盛美上海在清洗设备领域走出差异化路线，其自主研发的兆声波清洗技术，可去除直径 10 纳米以下的颗粒污染物，填补国内在12英寸晶圆精密清洗的空白。其2025年第一季的营业收入达13.06亿元，同比增长41.73%；归母净利润2.46亿元，同比大增207.21%。关于业绩增长原因，盛美上海表示，全球半导体行业持续复苏，尤其是中国大陆市场需求强劲，其凭借技术差异化优势，成功把握市场机遇，积累了充足订单储备，报告期盛美上海销售交货及调试验收工作高效推进，有效保障了经营业绩的稳步增长。在研发投入方面，2024年盛美上海研发投入合计8.38亿元，同比增长27.36%。其中资本化的研发投入较上一年度增加154.50%。

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　　上述三家是目前国内半导体设备厂商发展较好的代表厂商。在今年的SEMICN China展会上，另一家国内半导体厂商进入公众视野，并获得了较大关注，那就是新凯来。

　　成立仅4年的新凯来（SiCarrier）以“山海经”系列设备矩阵惊艳业界——30款以黄山、泰山命名的设备覆盖刻蚀、量测、离子注入等关键环节，虽未展示光刻系统，但其专利布局已涉及沉浸式DUV光刻物镜技术，被视为破解ASML垄断的“种子选手”。

　　产品的研发也需要资金的支持。据路透社近期报道显示，新凯来正寻求在其首轮融资中筹集28亿美元。融资资金将大部分用于研发。目前已有国有企业、国有基金以及国内风险投资和私募股权基金都已表达了投资意向。这也可能是今年中国公司进行的规模最大的人民币融资之一。

　　中国半导体设备的国产化道阻且长。当全球产业链面临重构，外部限制既是压力更是催化剂。根据群智咨询（Sigmaintell）调研，2024年中国大陆半导体制造业设备国产化比例约15%，同比增长2个点以上。预计在美国出口管制措施影响下，后续设备国产化进程将加速提升，预计2025年中国大陆半导体制造业采购本土设备比例将达55%-57%，设备国产化率有望达19%。

　　北方华创的全产品线突破、中微公司的高端刻蚀突围、新凯来的光刻技术攻坚，勾勒出中国半导体设备企业从“单点突破”到“生态构建”的进阶路径。半导体设备的国产化之路或许漫长，但在技术创新的驱动下，在政策与市场的双重赋能下，这条必须走通的道路上，正不断绽放出突破的曙光。