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北方华创微电子申请半导体工艺设备的APC数据查询方法和相关设备专利提高APC数据的查询效率

发布日期:2025-12-10 05:26 浏览次数:

  国家知识产权局信息显示,北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“一种半导体工艺设备的APC数据查询方法和相关设备”的专利,公开号CN121092579A,申请日期为2024年6月。

  专利摘要显示,本发明公开了一种半导体工艺设备的APC数据查询方法和相关设备,该APC数据查询方法应用于半导体工艺设备的上位机,包括:接收APC数据查询请求,该APC数据查询请求携带有需要查询的APC数据的索引信息,响应于该APC数据查询请求,获取索引信息对应的历史任务的任务数据,从历史任务的任务数据携带的多个索引标识中,获得索引信息对应的索引标识,根据索引信息对应的索引标识,从半导体工艺设备的所有APC数据中,获得需要查询的APC数据,从而可以实现半导体工艺设备的APC数据的自动查询,进而可以提高APC数据的查询效率,降低APC数据的查询成本和查询错误率。

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  天眼查资料显示,北京北方华创微电子装备有限公司,成立于2001年,位于北京市,是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析,北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业,参与招投标项目1281次,财产线条,此外企业还拥有行政许可340个。

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