。国产刻蚀设备在中微半导体、北方华创等厂商的合力之下已经“渐入佳境”，其中中微半导体的CCP和ICP刻蚀机已可以覆盖国内95%以上需求，并已进入台积电5nm/3nm先进制程产线。

　　光刻机的进展情况目前朴素迷离，无法展开说太多。但国产离子注入机近日取得了重大突破。根据1月17日中核集团原子能院消息：我国首台串列型高能氢离子注入机POWER-750H成功出束，核心指标达到国际先进水平，这是国产芯片制造领域的重大里程碑。

　　作为芯片制造的核心设备，离子注入机直接决定芯片的电学性能，其负责将特定离子注入硅片改变电学特性。此次中核研发团队在真空系统设计上独创了梯度压力控制法，使束流传输效率提升至92%，比国际同类产品高出7个百分点。更关键的是，他们用国产磁分析器替代了进口部件，将能量稳定性控制在±0.3%以内，这个数字甚至优于部分进口设备的技术协议标准。

　　另外，POWER-750H中的“750”即代表设计寿命，设备可以连续运转超75000小时，也就是可以连续运转8.5年左右。

　　值得注意的是，POWER-750H在产能方面的参数并不十分突出，相比日本日立最新型号的产能已达每小时300片晶圆，仍是POWER-750H现阶段产能的1.8倍。也就是说在高能离子注入机领域我们还有很大的上升空间的。

　　长期以来，全球离子注入机市场主要被美国应用材料（Applied Materials）、Axcelis、日本日新（Nissin）等国际巨头所垄断。2024年中国离子注入机进口额仍高达14.27亿美元；而2024年全球氢离子注入机市场规模约为38亿美元（约合275亿元），也就是说中国进口了全球超37%的离子注入机。

　　再加上本身国产厂商，可以说中国占据了全球超40%的市场份额了。目前国产华海清科、北方华创、先导基电（旗下凯世通）三大本土企业也在加速突围，均已实现关键技术突破。

　　先导基电旗下的凯世通是国产离子注入机赛道的“先行者”，进展最为迅猛。截至2025年上半年，凯世通累计交付设备超40台，覆盖先进逻辑、存储、功率器件、CIS等核心领域，其中12英寸低能大束流离子注入机安全生产过货量突破500万片，验证了规模化量产的可靠性。

　　华海清科则凭借CMP设备龙头的产业积淀，通过收购芯嵛半导体快速切入赛道。2025年7月，首台12英寸低温离子注入机iPUMA-LT交付逻辑芯片龙头客户，标志着其实现大束流机型全覆盖。

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　　北方华创作为半导体设备“全平台龙头”，虽于2025年3月才正式宣布进军离子注入机市场，但同步发布首款机型Sirius MC 313及多款12英寸机型，凭借在等离子体控制、射频技术等领域的深厚积淀，其设备在注入精度、均匀性、稳定性等指标上已接近国际先进水平，低能大束流技术可满足3D NAND存储芯片需求，束流传输效率超90%。

　　也就是说，目前国产离子注入机已经逐步由单点突破向整体生态布局方向突破。而此次中核突破的高能离子注入机是最大的细分市场，约占57%份额。此前我国高能氢离子注入机完全依赖国外进口，此设备填补了国产空白。

　　但值得注意的是，中核POWER-750H设备的突破，不仅打破国外企业在该领域的技术封锁，更重要的是实现了国产高能氢离子注入机的全链路正向设计能力。过去受制于进口设备的工艺窗口，国内厂商无法自主定义掺杂参数。POWER‑750H允许工程师精确配比氢离子浓度，为国产芯片设计公司开辟全新的技术路线。

　　当然，需要特别强调的是，中核POWER-750H设备关键应用领域——特别适用于功率半导体（如IGBT、碳化硅器件）的制造。

　　总而言之，POWER‑750H的成功出束标志着我国在芯片制造核心装备领域实现了从“依赖进口”到“自主可控”的关键一步。虽然国产设备在产能等方面仍有提升空间，但这次突破已为整个国产芯片产业链的降本增效、技术自主、产业安全注入了强心剂，预计将加速国产离子注入机在全球市场的份额提升，推动中国半导体产业向更高端迈进。

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