随着半导体产业的飞速发展，半导体设备市场规模也在同步增长。相关数据显示，2017年至2022年，全球半导体设备市场规模从美元。设备市场扩增极大提升了设备零部件需求。据推算，2022年全球半导体设备零部件采购额约为

　　▲ WSTS发表数据，2022年全球半导体市场销售额达到5741亿美元，2024年预计达到5760亿美元 数据来源：WSTS

　　按照结构组成，半导体零部件可大致分为：机械类、电气类、机电一体类、气/液/真空系统类、仪器仪表类、光学类等。其中真空系统类则分为干式真空泵、分子泵等各种真空泵、各类阀件、压力计以及O型密封圈等。

　　VLSI Research 统计，近10年来半导体关键子系统供应商销售额排名，前十位被真空泵、光学系统、阀门厂家牢牢占据。用最直观的数据举例，一个月产4万片的晶圆厂，大约需要上千台线台分子泵。可见真空系统在半导体行业的重要性。

　　半导体产品的整个制造过程可分为：晶圆加工—氧化—光刻—刻蚀—薄膜沉积—互连—测试—封装等步骤，其中包括了上百个具体的工艺环节。其中真空系统在半导体制造中涵盖了晶片加工、薄膜涂覆、化学气相淀积、等离子体刻蚀等多个环节。

　　真空系统在半导体制造中的作用主要有两点：❶抽取工艺腔的气体，去除颗粒与多余的水汽等杂质，有助于减少其对半导体材料的污染；❷控制气压，实现对半导体器件制造过程中的精确控制。根据以上需求半导体设备的真空系统主要由干式真空泵，分子泵与冷泵产品构成。

　　目前全球半导体真空系统无论是产品水准还是市场份额，欧洲厂商都占据很大比重。其中，EDWARDS 无疑是半导体产业真空产品的理想合作伙伴。本文以 EDWARDS 部分产品为例，说明干式真空泵、分子泵及尾气处理设备在半导体制造中的应用。

　　▲ 世界主要真空泵供应商历年销售额数据来源：VLSI research，EDWARDS，单位：百万美元

　　目前在半导体领域推广的干式真空泵主要为：多级罗茨真空泵、爪式真空泵和螺杆真空泵。

　　在半导体生产线上，进出样品加载腔（L/L腔），传输腔和工艺处理腔都需真空环境，但对真空系统的要求有所不同。

　　对于L/L腔抽真空，干式真空泵面临的主要挑战是耐受高频大气冲击；对于传输腔，干式真空泵面临的主要挑战是大气冲击以及控制特定气量下的压力；对于工艺腔抽真空，干式真空泵的要求是耐腐蚀，稳定性高，处理粉尘能力强及密封性良好。

　　目前工艺处理腔真空系统主流大多是采用罗茨+多级爪式干泵或罗茨+多级罗茨干泵的多级泵结构，以EDWARDS iXH 泵与 iXM 泵为比较典型的应用模式，其主要根据工艺挑战选择合适的型号。

　　▲ 从上至下分别为：EDWARDS iXM 系列（低能耗、高性能）、iXH 系列（强耐腐蚀性、处理粉尘能力强）

　　分子泵广泛应用于半导体制造过程中的光刻机、薄膜沉积设备、刻蚀设备、离子注入机、原子层沉积（ALD）等关键设备。

　　如EDWARDS STP 磁悬浮涡轮分子泵适用于要求高真空、低振动、无污染、少维护的半导体工艺中。其多轴磁力轴承系统可使转子在运行期间维持悬浮状态，消除了机械轴承带来的损坏风险，同时较大降低噪音和振动。

　　▲ STP 系列磁悬浮涡轮分子泵：抽气速度300L/s至4500L/s，极限压力10-10mbar，工艺气体流量处理能力强

　　芯片生产过程需不间断使用有机溶剂和酸性溶液，反应过程会产生大量的有毒有害的气体。EDWARDS STP 系列磁悬浮涡轮分子泵为工艺过程提供保护涂层、氮气吹扫、加热保护等选项，其可靠的质量和性能，在市场上享有较高声誉，在许多具有挑战性的半导体工艺中是理想设备。

　　半导体工艺中使用的气体有毒性，易燃易爆，腐蚀等特点，不能直接排放至大气中，需要用尾气处理设备将不可控的气体转换为可控气体，以下为废气的排放路径。

　　EDWARDS 以Atlas为代表的一系列尾气处理设备具有良好的气体处理效率，粉尘处理能力强和安全性高，得到了全球半导体客户的认可。同时尾气处理设备与干式真空泵组成集成系统，以应对高风险工艺，提升工艺稳定性与空间利用率，共同构成了 EDWARDS 完整的半导体真空及尾气处理解决方案。

　　纵观全球半导体行业的发展态势，其制造工艺对半导体设备的要求已越来越苛刻。相应的，半导体零部件在材料、结构、工艺、品质、精度、可靠性、稳定性等各方面也面临着更高的标准。

　　对于真空系统及尾气处理设备同样如此。真空系统是半导体设备的重要组成部分，真空泵运行情况的优劣直接影响成品的质量和设备的安全。所以，对真空系统及尾气处理设备定期检查、及时发现故障和处理，可有效节约维修时间，保证设备安全经济运行。

　　而真实数据也证明了以上观点。通过分析2017年至2022年全球半导体真空泵市场规模情况我们可以得出结论：维修市场与设备市场共同组成了半导体真空泵市场全景，其中维修市场占比约25%，说明半导体真空泵拥有庞大的维修市场。许多真空系统及尾气处理设备是24小时不间断运行的，维修设备注定增加生产成本，该数据也让半导体厂商认识到设备检测、检查、维护、维修的重要性。

　　▲ 2017-2022年全球半导体真空泵市场规模情况 图片来源：华经产业研究院

　　另一方面，优质半导体真空系统供应商根据市场及客户需求，在提供高品质设备硬件的同时，提升售后服务质量，保证产品稳定高效运行，更好的助力客户生产。

　　作为真空和尾气处理领域的全球合作伙伴，EDWARDS 售后服务团队一直助力现场运营，为客户提供优质服务。据统计，EDWARDS 有数万台设备遍布全国，保证众多设备的正常运行，保障客户高效生产，成为其售后服务团队的首要任务！

　　从装机与维修，到保养与不断改进，EDWARDS 售后服务团队运营工作之所以得到广大半导体客户的认可，其原因主要体现在以下四个方面：

　　EDWARDS 售后服务团队在国内拥有专业的半导体设备维修、保养技术及数百名经验丰富的工程师，共享全球半导体设备应用知识，同时拥有国内产品应用、技术支持、国外产品研发等内部团队的强力支持，确保满足不同的客户需求，保证设备的“健康”！

　　EDWARDS 售后服务团队遍布全国数十个主要城市，服务人员全天候响应。有效的服务策略，完善的问题处理和升级流程，确保更快更准地识别和解决问题，为客户降低生产过程中的损失和成本。

　　售后服务团队共享 EDWARDS 全球安全管理体系，将公司安全管理目标和客户安全目标相结合，制定出适合客户和售后团队的现场安全管理体系。通过不断的风险评估和安全风险识别，制定应对措施降低风险，保证现场作业的安全性。通过售后团队成员不断提高的安全意识，保证现场设备、人员的安全以及客户生产安全。

　　使用来自全球服务经验制定的作业指导书，确保团队服务成员在提供客户服务前完成专业级产品培训认证，并不断提升成员自身技能和服务技巧，旨在为客户提供更贴心的高质量服务；根据现场客户规定、生产工艺和设备生命周期，为客户量身定制优质服务计划，持续改进现场运营情况。

　　作为真空和尾气处理领域的解决方案提供商，EDWARDS 售后服务团队凭借庞大的客户群体，集合全球半导体设备数据和该领域全面的专业知识，灵活运用服务管理应用系统，及时制定有效的服务策略，降低现场风险和不确定性，为客户打造专家级的真空系统及尾气处理设备维修保养解决方案。

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