图表472022年全球TOP10半导体设备关键子系统厂商收入份额-行业数据

　　全球半导体设备零部件市场格局相对分散，各专注于细分零部件领域。半导体设备本身结构复杂，对加工精度、一致性、稳定性要求较高，导致精密零部件制造工序繁琐，技术难度大，行业内多数企业只专注于个别生产工艺，或专注于特定精密零部件产品。根据Yole 数据，2022 年全球半导体设备关键子系统收入前 10 的厂商为 ZEISS（光学物镜系统）、MKS（MFC、射频电源、真空系统）、Edwards（真空泵）、Advanced Energy（射频电源）、UCT（真空阀）、Horiba（MFC）、Ichor Systems（气体输送系统）、VAT（真空阀）、EBARA（真空泵）和 ASML（光学系统），收入份额合计 53%，行业竞争格局相对分散。

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　　半导体设备零部件行业深度研究报告：半导体设备之磐基国产替代正当时-250107（40页）.pdf

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　　图表542019-2023年中国主要半导体设备厂商前五大供应商采购金额占比