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半导体干式真空泵国产替代龙头募投产能释放与技术迭代共驱成长

发布日期:2026-04-24 22:24 浏览次数:

  中科仪:国内干式真空泵集成电路领域出货量最大,唯一实现先进制程批量应用的国产企业。中科仪作为中国科学院下属企业,长期专注于洁净与超高真空技术研发,是国内领先的半导体核心部件及真空科学仪器供应商。公司干式线D NAND工艺要求,在国内主流晶圆厂批量应用,出货量居国产厂商首位,并进入台积电、SK海力士等知名厂商供应链;同时为北京正负电子对撞机、上海光源等11项国家重大科技基础设施提供关键真空组件,在科研级MBE设备领域保持领先地位。公司产品广泛应用于半导体、光伏、科研等领域,具备自主可控的全链条制造能力。

  国家战略支持叠加自主化加速,半导体零部件及科学仪器领域前景广阔。在半导体产业自主化与清洁能源转型驱动下,干式真空泵作为集成电路及光伏制造核心设备,迎来国产替代与市场扩容双重机遇。1)集成电路领域:2024年全球市场规模达125.74亿元,中国大陆达52.11亿元,受益于先进制程扩产与国产设备导入。2)光伏领域:2024年中国市场规模约47.0-57.2亿元,晶硅电池生产中晶体生长与电池片制造工序形成稳定需求,受新增装机高增长及技术迭代带动设备更新。

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  自主核心技术与先进制程批量应用优势,受益半导体设备国产替代红利。1)多领域产品矩阵:形成了以高端干式真空泵为核心、多品类协同的产品体系,其中,干式真空泵产品主要为罗茨干泵,广泛支持国内外主流设备厂商机台;真空薄膜仪器设备产品主要包括PVD、CVD设备,主要面向高等院校、科研院所等科研机构进行薄膜材料的研究与小批量制备;并向高能物理大科学装置提供前端区、光束线、波荡器、真空互联及传输系统等关键部件。2)行业领先地位:牵头或参与编制13项国家、行业与团体标准,2024年公司在集成电路领域干式线亿元,测算国内市场占有率约12.72%,为国产厂商中最高。产品已大批量导入国内知名半导体设备厂商及光伏厂商,经过长期产线运行验证,具备高可靠性与工艺适配能力。3)募投项目赋能成长:募投项目建成后将形成年产2万台干式真空泵的生产能力,实现物流移动50%自动化,90%以上加工产线的自动化及智能化;并建设高端半导体设备生产、研发及配套设施,布局集成泵组系统与大尺寸分子束外延设备,丰富产品矩阵。

  风险提示:1)市场竞争加剧;2)国际贸易摩擦;3)持有上市公司股份股价波动。4)新股价格波动较大。

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