中商情报网讯：半导体设备是集成电路产业链自主可控的核心环节，行业进入壁垒高，国际竞争激烈。近年来，中国半导体设备行业保持稳定增长，市场规模持续扩大，资本加速布局。据不完全统计，中国半导体设备行业上市公司达18家。

　　半导体设备产业链上游为零部件及系统，零部件主要分为轴承、传感器、反应腔喷淋头等；核心子系统包括气液流量控制系统、真空系统、制程诊断系统等。半导体设备上游代表上市企业有华亚智能、富创精密。

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　　产业链中游主要包括光刻机、刻蚀设备、薄膜沉积设备等各类半导体设备，代表上市企业有北方华创、长川科技、至纯科技、中微公司等。

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　　半导体设备产业链下游为半导体制造，包括富乐德、联动科技、金海通等上市企业。

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