上市企业多分布于经济发达地区或是辽宁省这样的工业大省。部分地区存在产业聚集现象，上游零部件及系统供应企业，中游半导体设备制造企业齐全，例如江苏省和辽宁省。

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　　中国半导体设备行业上市企业整体盈利能力较强且毛利率较高。在零部件及系统供应环节，富创精密2023年营业收入20.66亿元，增长率达33.75%；零部件及系统供应业务贡献17.31亿元，毛利率24.41%。半导体设备制造环节，北方华创和中微公司较为突出。北方华创2023年实现营业收入220.8亿元，增长率达50.32%，半导体设备制造业务创造营收220.44亿元，毛利率达41.09%。

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