2023年报&2024年一季报点评：业绩高增，光伏&半导体ALD设备快速放量

　　业绩高速增长，ALD设备进入收获期：2023年公司实现营业收入16.8亿元，同比+145%，其中光伏设备营收15.0亿，同比+199%，占比89%，半导体设备收入1.2亿元，同比+160%，占比7%；归母净利润2.7亿元，同比+399%

　　业绩高速增长，ALD设备进入收获期：2023年公司实现营业收入16.8亿元，同比+145%，其中光伏设备营收15.0亿，同比+199%，占比89%，半导体设备收入1.2亿元，同比+160%，占比7%；归母净利润2.7亿元，同比+399%；扣非归母净利润1.9亿元，同比+850%。2024Q1公司实现营业收入1.7亿元，同比+125%；归母净利润0.04亿元，同比+428%。

　　合同负债&存货大幅增长，在手订单充沛保障业绩增长：截至2024Q1末公司合同负债为23.2亿元，同比+145%，存货为40.7亿元，同比+181%。2023年公司新签订单总额约64.69亿元，是2022年同期新增订单的2.96倍。截止至2024Q1末，公司在手订单81.91亿元（含Demo订单），其中光伏在手订单70.26亿元，半导体在手订单11.15亿元，产业化中心新兴应用领域在手订单0.50亿元。

　　立足ALD布局光伏&半导体，拓展CVD打开成长空间：（1）半导体领域：进入产业化验证阶段的ALD和CVD工艺种类不断增加，目前已开发工艺包括了HKMG技术、柱状电容器、金属化薄膜沉积技术及高深宽比3DDRAM、TSV技术等，并还在持续开发客户需求的IGZO、Nb2O5等新工艺。2023年公司客户类型涵盖了逻辑、存储、化合物半导体、硅基OLED等，其中超过75%的增量订单来自存储领域（新型存储、3DNAND和DRAM），形成批量的重复订单合计已超过5亿元。（2）光伏领域：2023年公司新签订单是2022年同期的2.92倍，80%增量来自于行业前十大电池片厂商及上市公司客户，应用的技术路线覆盖了TOPCon、XBC和钙钛矿电池，设备类型以ALD设备为主，poly设备订单增长显著。

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　　盈利预测与投资评级：考虑到公司在手订单情况，我们调整微导纳米2024-2026年归母净利润分别为6.3（原值6.0）/8.3（原值8.1）/9.2亿元，当前股价对应动态PE分别为分别24/18/16倍，维持“增持”评级。