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北方华创申请射频电源匹配器及半导体工艺设备专利实现不同功率下的电流检测切换-z6尊龙凯时|官方网站
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北方华创申请射频电源匹配器及半导体工艺设备专利实现不同功率下的电流检测切换

发布日期:2026-03-06 12:17 浏览次数:

  国家知识产权局信息显示,北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“射频电源匹配器及半导体工艺设备”的专利,公开号CN121618954A,申请日期为2024年8月。

  专利摘要显示,本申请实施例提供了一种射频电源匹配器及半导体工艺设备,其中,所述射频电源匹配器包括:控制模块和检测模块;控制模块用于与射频电源连接,控制模块设有电流信号输入端口,检测模块设有第一电流检测器、第二电流检测器、第一开关和第二开关;第一电流检测器经第一开关与电流信号输入端口连接,第二电流检测器经第二开关与电流信号输入端口连接;控制模块用于,在射频电源的输出功率大于或等于第一预设值的情况下,控制第一开关开启,第二开关关闭;在射频电源的输出功率小于第一预设值的情况下,控制第一开关关闭,第二开关开启。

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  天眼查资料显示,北京北方华创微电子装备有限公司,成立于2001年,位于北京市,是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析,北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业,参与招投标项目1391次,财产线条,此外企业还拥有行政许可340个。

  声明:市场有风险,投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成,仅供参考,不构成个人投资建议。

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