半导体设备有哪些_产业链及核心零部件一览 1 半导体设备关键子系统 据半导体产业调查公司 VLSI 统计，半导体设备的关键子系统主要分为 8大类。包含：气液流量控制系统、真空系统、制程诊断系统、光学系统、电源及气体反应系统、热管理系统、晶圆传送系统、其他集成系统及关键组件，每个子系统亦由数量庞大的零部件组合而成。 (1)气液流量控制系统 FluidManagementSubsystems：气体流量控制器、液体流量控制器、排液泵等 (2)真空系统 Vacuum Subsystems：控制阀、隔离阀、传输阀、低温泵、干式泵、分子泵等 (3)制程诊断系统 Integrated Process Diagnostics ...

　　半导体设备有哪些_产业链及核心零部件一览 1 半导体设备关键子系统 据半导体产业调查公司 VLSI 统计，半导体设备的关键子系统主要分为 8大类。包含：气液流量控制系统、真空系统、制程诊断系统、光学系统、电源及气体反应系统、热管理系统、晶圆传送系统、其他集成系统及关键组件，每个子系统亦由数量庞大的零部件组合而成。 (1)气液流量控制系统 FluidManagementSubsystems：气体流量控制器、液体流量控制器、排液泵等 (2)真空系统 Vacuum Subsystems：控制阀、隔离阀、传输阀、低温泵、干式泵、分子泵等 (3)制程诊断系统 Integrated Process Diagnostics Subsystems：气体分析仪、液体分析仪、粒子计数器、其他计量等 (4)光学系统 Optical Subsystems：光刻光学系统 (5)电源及气体反应 Power and Reactive Gas Subsystems：RF 射频电源，RF 射频电源匹配网络、DC

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